在多晶硅生产过程中需要什么样的废气处理设备
在多晶硅生产过程中需要什么样的废气处理设备
在多晶硅生产过程中,还会产生一定量的废气和残液。废气处理设备厂家对人体健康的危害:人需要呼吸空气以维持生命。一个成年人每天呼吸大约2万多次,吸入空气达15~20立方米。因此,被污染了的空气对人体健康有直接的影响。工业废气处理专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理,以达到国家废气对外排放的标准的工作。有机废气处理原理有活性炭吸附法、催化燃烧法、催化氧化法、酸碱中和法、等离子法等多种原理。废气处理塔采用五重废气吸附过滤净化系统,工业废气处理设计周密、层层净化过滤废气,效果较好。 目前,我国的废气处理设备更加先进,原有的处理技术也得到了改进,达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子工业的重要原料。 随着我国太阳能产业的快速发展,对多晶硅的需求日益增加。 目前多晶硅技术仍是一个空白。 排放。 主要有西蒙工艺、冶金工艺、等离子工艺、硅烷工艺、流化床工艺、熔盐电解工艺、无氯工艺等。 西蒙方法是通过气相沉积制备柱状多晶硅的方法。 为了提高原料利用率,在原工艺的基础上采用了闭环生产工艺,即改进的西门工艺。 改进后的西门子工艺生产了全球80%的多晶硅产能。 西门子法制备高纯多晶硅在国内外已有许多研究。 例如,张宇等人已经使用催化化学气相沉积方法制备了多晶硅薄膜。 M.Dahl等人对流化床中多晶硅的微观结构和颗粒生长了研究,多晶硅的生产技术包括碳热还原法、区熔法等。 碳热还原法是用高纯度碳还原二氧化硅生产多晶硅,区熔法是用定向凝固原理将金属级硅提纯为太阳能级硅。 在多晶硅的制备过程中,废气和残液
在废气处理过程中会产生大量的废气和废液。大多数家用植物通常先用水洗涤水解,然后用 naoh 处理,以中和废气和残液。废气从每个精馏塔顶部排放的含氯的硅烷和氮以及含有氯硅烷、氢、氮、氯化氢等的多晶硅还原炉中净化,含有氯硅烷、氢、氮和氯化氢的多晶硅还原炉被送到尾气洗涤器组,用水(盐酸溶液)洗涤。
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